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김수현 교수 연구실
Soo-Hyun Kim
울산과학기술원 · 신소재공학과
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교수 소개
김수현 교수
교수 홈페이지·논문소개
김수현 교수 연구실(나노소자공정연구실)은 UNIST 신소재공학과 소속으로, 원자층 증착법(ALD)과 영역선택 원자층 증착법을 연구한다. 반도체 배선공정과 전구체 개발을 통해 나노소자 공정 기술을 탐구한다.
연구 키워드
atomic layer depositionarea-selective atomic layer depositionmetallizationprecursor
최근 논문
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