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고대홍 교수 연구실

연세대학교 · 신소재공학부

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소개

고대홍 교수 연구실은 연세대 신소재공학부 소속으로, 반도체 박막 공정과 재료를 연구한다. 원자층증착(ALD)을 활용한 고유전율(high-k) 게이트 절연막, 상변화 메모리(PRAM)용 칼코지나이드/산화물 적층 구조 등 차세대 반도체 소자용 박막 기술을 다룬다.

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