이정철 교수 연구실
Advanced Micro/Nanomanufacturing Lab
한국과학기술원 · 기계공학과
교수 소개
이정철 교수
교수 홈페이지·논문소개
KAIST 기계공학과 이정철 교수의 MNIL(Micro & Nano Integration Laboratory)은 반도체 소재·부품·장비 분야의 기계공학적 솔루션을 연구한다. 마이크로/나노 제조 및 센싱 기술을 중심으로 공진형 센서, 마이크로채널 시스템, 반도체 박막-캐비티 구조, 액체금속·유연소자, 기능성 표면, 열관리 기술 등 초소형 센서 플랫폼부터 반도체 공정·나노 계면 분석·산업 및 바이오 응용까지 폭넓은 융합 연구를 수행한다.
연구 키워드
대표 논문
- Wafer-scale deterministic fabrication of axis-ratio–engineered silicon nanoparticlesSmall · 2026
- In-Situ Monitoring of Diffusive Morphology TransformationACS Applied Materials & Interfaces · 2026
- Enhancing In-Plane Thermal Conductivity of Ag and Au FilmsACS Photonics · 2026
- CuOx-Based Transparent and Flexible Humidity SensorsApplied Surface Science Advances · 2026
- Extracting Liquid Thermophysical Properties Inside Stainless-Steel Microtubes Using the 3ω MethodMicro and Nano Systems Letters · 2025
- Inertial sensing of water content in tumor spheroidsScience Advances · 2026
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