연구실 목록
임연호 교수 연구실
Nano-Electrochemistry Laboratory
전북대학교 · 화학공학과
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소개
나노전기화학연구실은 반도체 공정 해석과 플라즈마 반도체 공정 진단을 연구한다. 반도체 제조 공정의 해석 및 진단 기술 개발에 초점을 둔다.
연구 키워드
반도체 공정 해석 소프트웨어 개발DRAMNAND Flash HARC 식각 공정 개발
최근 논문
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