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윤준보 교수 연구실

Yoon Junbo Lab

한국과학기술원 · 전기및전자공학부

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교수 소개

윤준보 교수

교수 홈페이지·논문

소개

윤준보(Jun-Bo Yoon) 교수는 KAIST 전기및전자공학부 소속으로 3차원 마이크로·나노 구조 연구실(3D Micro-Nano Structures Lab)을 이끈다. 다양한 공정 기술로 독창적인 3차원 마이크로·나노 구조를 제작하고 그 특성을 활용한다. 주요 주제는 3D 마이크로·나노 구조 제작 기술, 나노구조 기반 휴대용 저전력 유해가스 센서, 유연 물리 센서, MEMS/NEMS 스위치이다.

연구 키워드

MEMS3D Micro-Nano Structures

최근 논문

OpenAlex 기준 · 저자 소속이 이 대학으로 확인된 논문이에요

대표 논문

  • Surface Micromachined Solenoid On-Si and On-Glass Inductors for RF applicationsIEEE Electron Device Letters · 1999
  • CMOS-Compatible Surface-Micromachined Suspended-Spiral Inductors for Multi-GHz Silicon RF ICsIEEE Electron Device Letters · 2002
  • Fabrication and characterization of a nanoelectromechanical switch with 15-nm-thick suspension air gapApplied Physics Letters · 2008
  • A sub-1-volt nanoelectromechanical switching deviceNature Nanotechnology · 2013

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