연구실 목록
정진욱 교수 연구실
Jin-Wook Chung
한양대학교 · 전기·생체공학부
정보 출처아직 확인되지 않음
교수 소개
정진욱 교수
교수 홈페이지·논문소개
정진욱 교수 연구실(플라즈마전자공학연구실, Plasma Electronics Lab)은 한양대 전기·생체공학부 전기공학전공 소속으로, 반도체·디스플레이 공정용 플라즈마 진단·제어와 차세대 플라즈마 소스를 연구한다. 플라즈마 상태변수(전자온도·이온밀도)의 실시간 정밀 측정, 무손상 플라즈마 소스 개발, 무선 전력 전송, 전자기·유동 시뮬레이션을 수행한다.
연구 키워드
전기공학전공
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