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김태성 교수 연구실

Kim Tae-sung

성균관대학교 · 기계공학부

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교수 소개

김태성 교수

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소개

김태성 교수 연구실(Nano Particle Technology Lab, NPTL)은 성균관대 기계공학부 소속으로, 나노입자 기술과 반도체 공정을 연구한다. 2D 소재와 PECVD 공정, 3D 반도체 적층, 에어로졸 기술, 센서 개발 및 수치 시뮬레이션을 다룬다.

연구 키워드

화학기계연마/세정/오염제어 2차원소재 합성 및 응용 나노입자

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