유신재 교수 연구실

Shin Jae You

충남대학교 · 물리학과

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교수 소개

유신재 교수

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소개

유신재 교수의 응용플라즈마물리실험실(Apple Lab)은 기초 플라즈마 물리와 공학적 응용을 결합해 플라즈마 현상을 연구하고 플라즈마 생성·진단 장비를 개발한다. 플루오로카본 전구체를 이용한 식각 공정, 공정 화학 데이터베이스 구축, 아킹 예측 시스템 설계, 플라즈마 원자층증착(ALD), 10nm 반도체 공정 전산 모델링, 고효율 플라즈마 중성화 기술 등을 다룬다. 플라즈마는 핵융합, 나노기술, 항공우주, 바이오, 환경공학 등에 폭넓게 응용된다.

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