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전나리 교수 연구실
Environmental Nanomaterials Laboratory
충남대학교 · 신소재공학과
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교수 소개
전나리 교수
교수 홈페이지·논문소개
환경 응용을 위한 나노소재를 연구하는 나노환경재료 연구실입니다.
연구 키워드
나노소재/박막 공정 (원자층증착·순차침투합성반도체 소재)
대표 논문
- Atomic InOx Motif-Mediated Cross-linking in PMMA via Sequential Infiltration Synthesis for Negative-Tone LithographyApplied Surface Science Advances · 2026
- Machine Learning-Enabled In-Situ Diagnostics for Intelligent Plasma-Based Semiconductor Manufacturing: A ReviewACS Applied Materials & Interfaces · 2026
- Atomic Layer Etching of HfO2 and ZrO2 Using NbF5 and TiCl4 in High-Aspect-Ratio 3D Nanohole StructuresChemistry of Materials · 2026
- Metal/metal-oxide heterostructured nanoparticle arrays via block copolymer nanopatterningJournal of Materials Chemistry A · 2026
- MoNx Nanoscale-Thick Films Using BTBMMo and Ammonia in Plasma-Enhanced ALD for Cu Diffusion Barriers in High-Aspect-Ratio Nanohole 3D InterconnectsACS Applied Nano Materials · 2025
- Transient, Reusable Top-Coats for the Vertical Orientation of High-χ Block Copolymers for NanopatterningACS Applied Nano Materials · 2023
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