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안진호 교수 연구실
Jinho Ahn
한양대학교 · 신소재공학부
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교수 소개
안진호 교수
교수 홈페이지·논문소개
안진호 교수 연구실(나노공정 및 소자 연구실)은 한양대 신소재공학부 소속으로, 반도체 소재와 나노패터닝, EUV 리소그래피를 연구한다. 차세대 반도체 노광 공정과 나노 패턴 형성 기술을 다룬다.
연구 키워드
전자재료 반도체 재료 및 공정 나노 패터닝 EUV lithography Non-optical lithography Thin film process
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