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채희엽 교수 연구실
Hee-Yeup Chae
성균관대학교 · 화학공학·고분자공학부
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교수 소개
채희엽 교수
교수 홈페이지·논문소개
채희엽 교수 연구실(나노공정연구실)은 성균관대 화학공학·고분자공학부 소속으로, 반도체 및 플라즈마 공정을 연구한다. 반도체 박막 증착·식각 등 나노 공정 기술을 다룬다.
연구 키워드
플라즈마 공정 및 진단 기술 (Plasma Processing & Diagnostics)
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