Lab directory
Hee-Yeup Chae
Hee-Yeup Chae
Sungkyunkwan University (SKKU) · Chemical Engineering and Polymer Science
Information sourcenot verified yet
Professor
Prof. 채희엽
Professor's page · publicationsAbout
채희엽 교수 연구실(나노공정연구실)은 성균관대 화학공학·고분자공학부 소속으로, 반도체 및 플라즈마 공정을 연구한다. 반도체 박막 증착·식각 등 나노 공정 기술을 다룬다.
Research keywords
플라즈마 공정 및 진단 기술 (Plasma Processing & Diagnostics)
Other labs in this department
- Seok-Jun Kwon
Kwon Seok-Jun
스마트 화학 공정 및 소재 설계 관련 멀티스케일/멀티피직스 모델링
- Young-Don Kwon
Kwon Young-Don
고분자 물질로 대표되는 점탄성 유체의 유동특성 분석
- Deok-Jun Kim
Kim Duk-Joon
연료전지용 고분자 전해질 막 차세대 이차전지용 유연 고체 전해질
- Dong-Hwan Kim
Kim Dong-Hwan
화학(Chemistry), 재료과학(Materials science), 생명 공학(Bioengineering)
- Myung-Jun Kim
Kim Myung-Jun
반도체 금속 배선 공정, 반도체 패키징, 전해도금
- Soo-Chan Kim
Kim Soo-Chan
고분자 설계/개질/분석, 전고체배터리